檢測(cè)ROHS元素電感耦合等離子光譜儀ICP的特點(diǎn):
1、射頻發(fā)生器的高壓供電回路,采用先進(jìn)的電子技術(shù),淘汰了笨重的升壓變壓器和高頻阻流圈,采用功率閉環(huán)反饋技術(shù),控制精度小于0.1% 。
2、全自動(dòng)點(diǎn)火 氣路智能控制,實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)火,更方便。
3.安全冷卻水保護(hù)、氬氣保護(hù)、過(guò)壓、過(guò)流、滅弧保護(hù)更安全。
4.輸出功率自動(dòng)匹配調(diào)諧,功率參數(shù)軟件程序設(shè)定。
5.分光器內(nèi)充氬氣,使波長(zhǎng)在180nm的硫和189nm的Sn得到很靈敏的測(cè)量效果。
6.優(yōu)良的光學(xué)系統(tǒng),先進(jìn)的控制系統(tǒng),保證峰位定位準(zhǔn)確,信背比優(yōu)良、極小的基體效應(yīng)。
7.測(cè)量范圍寬, 超微量到常量的分析,動(dòng)態(tài)線性范圍5—6個(gè)數(shù)量級(jí)。
8.檢出限低,大多數(shù)元素的檢出限可達(dá)ppb級(jí)。
9.良好的測(cè)量精度,穩(wěn)定性相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤1.5%(5ppm),優(yōu)于國(guó)家*標(biāo)準(zhǔn)(JJG768-2005)。
10.氬氣消耗量:14L/min。
檢測(cè)ROHS元素電感耦合等離子光譜儀ICP技術(shù)參數(shù)
射頻發(fā)生器(RF)
(1) 電路類型:自激振蕩電路,全自動(dòng)點(diǎn)火,精密高壓開關(guān)電源供電系統(tǒng),所有功能實(shí)現(xiàn)電腦軟件控制(點(diǎn)火、熄火、功率等參數(shù)設(shè)置);實(shí)時(shí)功率控制;自動(dòng)匹配調(diào)諧;光室恒溫;;
(2) 工作頻率:40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩(wěn)定性:<0.1%
(4) 輸出功率:700-1600w
(5) 輸出功率穩(wěn)定性:≤0.3%
(6) 電磁場(chǎng)泄漏輻射強(qiáng)度:距機(jī)身300mm 電場(chǎng)強(qiáng)度E:<2V/m
檢測(cè)ROHS元素電感耦合等離子光譜儀ICP進(jìn)樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm,3匝
(2) 炬管:外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
(5) 氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格:
①、 等離子體流量計(jì)(100-1000)L/h ;(1.6-16L/min)
②、 輔助氣流量計(jì)(6-60)L/h ;(0.1-1L/min)
③、 載氣流量計(jì)(6-60)L/h ;(0.1-1L/min)
④、 載氣穩(wěn)壓閥(0-0.4MPa)
儀器內(nèi)設(shè)氬氣二次穩(wěn)壓閥(0.3MPa)
測(cè)光裝置:
(1) 光電倍增管規(guī)格: R212UH
(2) 光電倍增管負(fù)高壓:200-1000V ,穩(wěn)定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測(cè)量范圍:10-12 -10-4A
(4) 信號(hào)采集為V/F交換:1mV對(duì)應(yīng)100Hz
檢測(cè)ROHS元素電感耦合等離子光譜儀ICP分光器:
(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規(guī)格:離子刻蝕全息光柵,刻線密度3600線/mm,
刻線面積: 80×110mm,線色散率倒數(shù):0.26nm
(4) 波長(zhǎng)范圍:190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 掃描波長(zhǎng)范圍3600線/mm 掃描波長(zhǎng)范圍:190-500nm
(7) 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)小步距:0.0006nm
(8) 入射狹縫:20µm 出射狹縫:25µm
(9) 發(fā)射鏡規(guī)格:(78 × 105 × 16)mm
(10) 透鏡ф30,1:1成像
整機(jī)技術(shù)指標(biāo):
(1) 測(cè)量波長(zhǎng)范圍:
180-500nm 3600L/mm光柵
(2) 測(cè)量精度(重復(fù)性):平均相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤1%
(3) 測(cè)量穩(wěn)定性:平均相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD≤2
檢出下限:亞PPb級(jí)